Изготовление мощных полупроводников.

Силовые электронные элементы являются одними из наиболее важных компонентов систем управления, преобразования и деления электрической энергии. Поскольку такие полупроводники часто используются в областях с очень высокими требованиями, они должны по возможности обладать долговременной стабильностью, быть безотказными и термоустойчивыми. Например, в настоящее время электрические автомобили и автомобили с двумя приводами имеют множество таких конструктивных элементов. Кроме автомобильной промышленности мы находим их и в бытовой радиоэлектронной аппаратуре, в системах телекоммуникации или в биомедицине. Современные запросы требуют постоянного развития и усовершенствования мощных высоковольтных полупроводниковых устройств, характеризующихся малыми потерями.

На рынке представлен очень большой выбор полупроводников. Наиболее важными материалами являются: кремний (Si), карбид кремний (SiC), нитрид галлия (GaN) или арсенид галлия (GaAs). Какие из этих полупроводников подходят лучше всего, зависит от свойств материала, требований к устройству и стоимости. Каждый из этих материалов нашел признание в своей области.

Требования для полупроводниковой промышленности: Зависимость температуры от времени.

При использовании во все более взыскательной электронной промышленности все еще есть препятствия, требующие преодоления. Требуется высокая плотность мощности, эффективность и надежность. В полупроводниковой промышленности используются многочисленные термические процессы, способствующие проникновению легирующих материалов внутрь объема или необходимые для окисления и отжига полупроводников. Чаще всего они протекают в технологическом газе. В контролируемых условиях «примеси» встраиваются в структуру полупроводника, изменяя при этом характеристики материала. Коэффициенты диффузии в полупроводниках сильно зависят от температуры.

Например, в одном из стандартных способов для окисления поверхности кремния используется водяной пар (так называемое влажное или мокрое окисление), которое обычно протекает при температурах в диапазоне от 900°C до 1100°C. В этом случае слой растет быстро, однако качество кристалла неудовлетворительное. Эту реакцию можно явно ускорить за счет высоких температур. При сухом окислении (в кислороде и при температуре до 1200°C) получают оптимальный рост кристалла и гораздо более высокое качество слоя.

Температурная зависимость диффузии приобретает все большее значение, поскольку она может не только положительно повлиять на качество и функциональные свойства обрабатываемых материалов, но и сократить общее время процесса.

Решение для реализации термических требований в полупроводниковой промышленности: Контролируемый и точный нагрев.

Диффузия — это термически управляемый процесс. Это требует точной нагревательными системами.

SCHUPP® с радостью разработает вместе с вами систему нагревательными системами MolyTec для контролируемой и точной термообработки полупроводников. В ней согласно вашим требованиям нагревательные элементы из высокочистого дисилицида молибдена (MoSi2) комбинируются с полученными методом вакуумного формования изоляционными элементами из волокна неклассифицированного поликристаллического муллита/оксида алюминия (PCW). Наши нагревательными системами позволяют температуры процесса до 1450°C (что сильно зависит от условий применения и геометрии).

Результат: Быстрая и высокоэффективная тепловая обработка полупроводников при высоких температурах.

Наиболее важными факторами влияния в полупроводниковой промышленности являются температура и время. Использование нагревательных систем MolyTec позволяет сократить время производства за счет более высоких температур процесса по сравнению с проволочными системами. Кроме того, по сравнению с альтернативными решениями проблемы нагрева система обеспечивает равномерное распределение температуры и более высокий подвод мощности благодаря использованию нагревательных элементов из MoSi2. Быстрый и простой монтаж, уменьшение продолжительность простоев при техобслуживании. Высококачественные компоненты нагревательной системы обеспечивают более длительный срок службы по сравнению с традиционными нагревательными системами (например, проволочными).

 

Технический паспорт

Технический паспорт

Технический паспорт

Технический паспорт

Эта страница сохранять Cookies. больше информации