Wir sehen uns auf der SEMICON in München.

Die SEMICON ist das größte Mikroelektronik-Messeevent in Europa. Sie findet vom 14. bis 17. November 2017 in München, Deutschland statt. Sie sind herzlich zu einem Besuch an unserem Stand 858 in der Halle B1 eingeladen.

Informieren Sie sich vorab über unsere Hochtemperatur-Lösungen für die Halbleiterindustrie und vereinbaren Sie einen Termin mit Ihren Kontaktpersonen von SCHUPP® Ceramics vor Ort: Lukasz Borkowski (l.borkowski@schupp-ceramics.com) und Gerrie Timmer (g.timmer@schupp-ceramics.com).

Wir freuen uns auf interessante Fachgespräche!

UltraVac sind dreidimensionale vakuumgeformte Isolierformteile aus polykristalliner Mullit/Aluminiumoxid-Wolle (PCW).

Die Hochtemperatur-Vakuumformteile (PCW) können als Isolierplatten oder -rohre eingesetzt werden und bieten besondere Maßgenauigkeit, Oberflächenqualität und Homogenität.

Die Struktur der vakuumgeformten Isolierformteile bleibt auch bei hoher Temperatur stabil. Dank des sehr guten thermischen Schockverhaltens eignet sich UltraVac für den Einsatz in Diffusions- und CVD-Öfen mit schnellen Temperaturgradienten bis 1500°C Anwendungstemperatur.

Die Isolierformteile realisieren wir als individuelle und anwendungsspezifische Sonderformen oder Kleinserien.

MolyCom®-Hyper 1800 sind hochreine elektrische Heizelemente aus Molybdändisilizid (MoSi2) und eignen sich für horizontale und vertikale Diffusions- und CVD-Öfen bis 1500°C Anwendungstemperatur.

Dank ihrer einzigartigen Eigenschaften ermöglichen die MoSi2-Elemente eine höhere Oberflächenbelastung im Vergleich zu üblichen elektrischen Beheizungen wie z.B. mit Draht und lassen eine homogene Temperaturverteilung zu. Spurenelemente/Vereinigungen sind auf ein Minimum reduziert (1/10 im Vergleich zu Standard-MoSi2-Heizelementen). Dadurch eignen sich MolyCom®-Hyper 1800 für hochreine anspruchsvolle Anwendungen.

MolyCom®-Hyper 1800 Heizelemente lassen sich mit vakuumgeformten Isolierrohren aus polykristalliner Mullit/Aluminiumoxid-Wolle (PCW) zu elektrischen Heizsystemen für Oxidations-/Diffusions- und LP CVD-Öfen kombinieren. Sie können in komplexen Geometrien hergestellt werden wie zum Beispiel als 360° Panorama-Heizelemente.

MolyTec ist ein maßgeschneidertes elektrisches Heizsystem, das hochreine Heizelemente MolyCom®-Hyper 1800 aus Molybdändisilizid (MoSi2) und vakuumgeformte Isolierformteile aus polykristalliner Mullit/Aluminiumoxid-Wolle (PCW) vereint.

Das System erlaubt kontrolliertes und präzises Beheizen bei Anwendungstemperaturen bis 1500°C. MolyTec ist voll kompatibel mit allen technisch vergleichbaren Heizsystemen und kann in Oxidations-/ Diffusions- und LP CVD-Ofensystemen integriert werden.

Das System lässt sich schnell und einfach installieren sowie austauschen. Es reduziert die Prozesszeit, da höhere Prozesstemperaturen im Vergleich zu einer Drahtbeheizung erreicht werden können.

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